所述基座本體1的底部固定安裝有四個移動車輪2，基座本體1頂部的右側(cè)固定連接有推桿3；基座本體1頂部的前后兩側(cè)均固定連接有固定箱4，固定箱4的內(nèi)部固定連接有兩個滑桿5，固定箱4內(nèi)壁的后側(cè)固定連接有套筒6，套筒6遠離固定箱4內(nèi)壁后側(cè)的一端套接有螺紋桿7；固定箱4的正面鑲嵌有軸承8，軸承8的內(nèi)圈與螺紋桿7的表面固定套接，螺紋桿7表面上從套筒6至軸承8之間的部分為螺紋面，且螺紋桿7表面上的其余部分均為光滑面；螺紋桿7遠離套筒6的一端穿設(shè)軸承8并固定連接有調(diào)節(jié)旋鈕9?；瑮U5和螺紋桿7的表面均套接有滑板10，滑板10套接在滑桿5的表面，且滑板10與螺紋桿7的表面螺紋連接，滑板10背面的頂部和底部均固定連接有連接桿11；固定箱4后側(cè)表面的頂部和底部均鑲嵌有套管12，連接桿11遠離滑板10的一端穿設(shè)套管12并固定連接有夾板13，兩個夾板13之間夾持有排水泵14，夾板13的內(nèi)壁粘接有弧形橡膠圈17，且弧形橡膠圈17位于夾板13和排水泵14之間，通過設(shè)置固定箱4、滑桿5、套筒6、螺紋桿7、軸承8、調(diào)節(jié)旋鈕9、滑板10、連接桿11、套管12、夾板13、排水泵14和弧形橡膠圈17，通過轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)旋鈕9帶動螺紋桿7一起轉(zhuǎn)動；由于滑板10與滑桿5的表面套接，并且滑板10與螺紋桿7的表面螺紋連接。從原材料的嚴苛篩選，到生產(chǎn)流程的精細把控，不放過任何一個細節(jié)。上海被動式微振基臺設(shè)計

壓電式工業(yè)微震機臺基于壓電陶瓷的獨特特性，在工業(yè)生產(chǎn)中展現(xiàn)出了諸多***的性能優(yōu)勢，尤其在對微震精度和響應(yīng)速度要求極高的精密制造領(lǐng)域，發(fā)揮著不可替代的作用。壓電式工業(yè)微震機臺**突出的優(yōu)勢之一是其超高的振動精度。壓電陶瓷在電場作用下的伸縮變形極為精確，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級別的位移控制，這使得壓電式微震機臺的振動偏差可被嚴格控制在極小的范圍內(nèi)。在半導體芯片制造的光刻工序中，光刻設(shè)備需要將電路圖案精確地刻在硅片上，任何微小的振動偏差都可能導致芯片電路的短路或斷路，影響芯片的性能和良品率。壓電式微震機臺憑借其超高精度的微震控制，為光刻設(shè)備提供了穩(wěn)定、精細的微震環(huán)境，確保了光刻線條的精度和質(zhì)量，助力芯片制造工藝向更高精度邁進。其快速的響應(yīng)速度也是一大亮點。壓電陶瓷對電場變化的響應(yīng)時間極短，幾乎可以瞬間完成振動參數(shù)的調(diào)整。在精密光學元件的加工過程中，如鏡片的研磨和拋光，加工工具需要根據(jù)鏡片表面的微觀形貌實時調(diào)整振動參數(shù)，以保證鏡片表面的平整度和光潔度。壓電式微震機臺能夠在極短時間內(nèi)響應(yīng)控制系統(tǒng)的指令，快速改變振動頻率和振幅，使加工工具始終保持比較好的工作狀態(tài)，**提高了光學元件的加工效率和質(zhì)量。成都本地微振基臺生產(chǎn)微震機臺的噪音控制在60分貝以下，營造了安靜的實驗室工作環(huán)境。

包含以下事項： 1. 產(chǎn)塵作業(yè)時搭建潔凈棚，并配備潔凈室**吸塵器； 2. 施工現(xiàn)場進行6S維護； 3. 高架地板拆除后，在拆除區(qū)域鋪設(shè)防墜網(wǎng)，并在防微振平臺安裝前拆除該防墜網(wǎng)； 4. 在防微振平臺落坑處，高架地板腳架需增加斜撐以進行補強，所需材料由甲方提供，承包商負責運輸、安裝及拆除； 5. 其他潔凈室施工防護措施，包括潔凈施工棚的搭建等。 以上事項將確保施工現(xiàn)場的潔凈和安全。包含以下事項： 1. 產(chǎn)塵作業(yè)時搭建潔凈棚，并配備潔凈室**吸塵器； 2. 施工現(xiàn)場進行6S維護； 3. 高架地板拆除后，在拆除區(qū)域鋪設(shè)防墜網(wǎng)，并在防微振平臺安裝前拆除該防墜網(wǎng)； 4. 在防微振平臺落坑處，高架地板腳架需增加斜撐以進行補強，所需材料由甲方提供，承包商負責運輸、安裝及拆除； 5. 其他潔凈室施工防護措施，包括潔凈施工棚的搭建等。 以上事項將確保施工現(xiàn)場的潔凈和安全。

精密設(shè)備及儀器的**基礎(chǔ)設(shè)計應(yīng)符合下列要求：1地面上設(shè)置的精密設(shè)備及儀器，基礎(chǔ)底面應(yīng)置于堅硬土層或基巖上。其他地質(zhì)情況下，應(yīng)采用樁基礎(chǔ)或人工處理復合地基；2精密設(shè)備及儀器受中低頻振動影響敏感時，基礎(chǔ)周圍可不設(shè)隔振溝；3精密設(shè)備及儀器的基臺采用框架式支承時，宜采用鋼筋混凝土框架，臺板宜采用型鋼混凝土結(jié)構(gòu)，其周邊應(yīng)設(shè)隔振縫；4工藝設(shè)備層平臺上設(shè)置的精密設(shè)備或儀器宜采用防微振基臺，臺板宜采用型鋼混凝土結(jié)構(gòu)，厚度不宜小于200mm。針對不同行業(yè)需求，微震機臺提供定制化服務(wù)，滿足客戶多樣化的使用場景。

半導體芯片制造工藝精細復雜，對廠房震動控制要求嚴苛。此微震平臺憑借創(chuàng)新的主動式隔震技術(shù)，構(gòu)建起***防護體系。在芯片廠房內(nèi)，它如同一位“無聲的守護者”，實時感知并捕捉來自地面、設(shè)備運轉(zhuǎn)等各類微震源。通過智能算法分析震動數(shù)據(jù)，驅(qū)動主動隔震裝置進行動態(tài)補償，將震動干擾降至比較低限度。確保芯片制造過程中，晶圓加工、電子束曝光等精密操作不受震動影響，有力保障半導體芯片生產(chǎn)的穩(wěn)定性與一致性，提升企業(yè)核心競爭力。自主研發(fā)的微震機臺，憑借高效節(jié)能、低噪音的優(yōu)勢，助力礦山、冶金、食品等行業(yè)提升生產(chǎn)效率。浙江承載式微振基臺生產(chǎn)

微震機臺加工工藝精湛，從部件制造到整機裝配，每一道工序嚴格把控，保障設(shè)備耐用性與可靠性。上海被動式微振基臺設(shè)計

適用范圍 適用于經(jīng)過調(diào)試并已經(jīng)具備一定潔凈度等級的潔凈廠房內(nèi)，對基礎(chǔ)有一定微振動要求的設(shè)備。 4．工藝原理 將平臺設(shè)立在地面或者格柵板上，與原有的活動地板分離，使之不與活動地板相互傳遞振動，阻隔相鄰設(shè)備所產(chǎn)生的防微振。通過自身的結(jié)構(gòu)構(gòu)造，將防微振動控制在振動規(guī)范或設(shè)備對基礎(chǔ)的要求之內(nèi)，能夠**吸收來自設(shè)備本身運作產(chǎn)生的振動的能量，避免潔凈室建筑結(jié)構(gòu)（比如樓板、梁等）所產(chǎn)生的防微振動對其產(chǎn)生影響。施工工藝流程 施工前期準備→確定設(shè)備以及平臺安裝位置→平臺加工→平臺搬運及組裝→平臺試驗上海被動式微振基臺設(shè)計