晶片缺陷檢測儀是一款基于光學和機械技術(shù)的精密分析儀器,主要用于晶圓制造過程中表面顆粒、劃痕、凹坑和微管缺陷的分析檢測 [1]。該設(shè)備采用405nm光學系統(tǒng)與多頻道探測器組合技術(shù),可檢測顆粒、劃痕、凹坑及微管等缺陷類型,并配備2至6英寸夾具適配不同規(guī)格晶片。其自動化功能包含機械手臂傳輸和自動對焦系統(tǒng),提升了檢測效率和精度。截至2021年1月,該設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)包括 [1]:1.采用405nm波長的光學系統(tǒng),提升表面微小缺陷的識別能力;這個信息可用來修改元件貼放或表明貼片機需要校準。這個位置的檢查滿足過程跟蹤的目標。姑蘇區(qū)國內(nèi)自動化缺陷檢測設(shè)備設(shè)備廠家
缺陷類型:微粒缺陷(如異物污染)圖形缺陷(如光刻圖案偏移) [1-3]2.檢測精度:可實現(xiàn)0.2微米級缺陷的識別,滿足45納米工藝節(jié)點的質(zhì)量控制需求 [1-3]。吞吐量:每小時處理20片300毫米晶圓(基于2021年技術(shù)標準) [1] [3]適用工藝:45納米及更高制程的集成電路制造 [1-3]主要用于半導體制造環(huán)節(jié)的在線缺陷檢測,覆蓋晶圓前道制程中的關(guān)鍵工藝步驟,確保芯片良率與可靠性 [1-3]。上海集成電路研發(fā)中心有限公司自2011年起使用KLA-Tencor Puma9150型號設(shè)備(截至2020年),同期配備頻譜分析儀、晶邊缺陷檢查設(shè)備等科研儀器 [2-3]。吳中區(qū)整套自動化缺陷檢測設(shè)備維修電話基于圖像檢查的基本 原理是:每個具有明顯對比度的圖像都是可以 被檢查的.
避免焊點反射焊點的形狀和接觸角是焊點反射的根源。焊點的形成 依賴于焊盤的尺寸、器件的高度、焊錫的數(shù)量和回流工藝 參數(shù)。為了防止焊接反射,應(yīng)當避免器件對稱排列。波峰焊圖5經(jīng)過波峰焊后,焊點所有的參數(shù)會有很大的變化,這 主要是由于焊爐內(nèi)錫的老化導致焊盤反射特性從光亮到灰 暗,因此,在檢查時算法上必須要包含這些變化。在波峰焊 中,典型的缺陷是短路和焊珠。當檢測到短路時,假如印刷 的圖案或者無反射印刷這兩種情況的減少以及應(yīng)用阻焊層, 就可以消除這些誤報。如果基準點沒有被阻焊膜蓋住而過波 峰焊,可能會導致一個圓形基準點上錫成了一個半球,其內(nèi) 在的反射特性將會發(fā)生改變;應(yīng)用十字型作為基準點或者用 阻焊層覆蓋基準點,可以防止這種情況的發(fā)生。
更加可行的方法是,取出確定每道工藝和元件變化的特性。這些變化可以分成不同的等級。如果在使用的工藝中,出現(xiàn)了一個新的變化,就要增加一個級別,來保證檢查的精確性。所有認識到的和已知的缺陷都儲存起來,他們的類型和圖片可以用于AOI系統(tǒng)和全球數(shù)據(jù)庫里的檢查程序。我們沒有必要把一塊不同缺陷的電路板保存起來用于詳細的檢查。用AOI軟件核實真正的缺陷AOI軟件中有一個綜合性的驗證功能,它能減少檢查的誤報,保證檢測程序無缺陷。它可以檢查儲存起來的有缺陷的樣品,例如,修理站存放的樣品,以及印刷了焊膏的空白印刷電路板。片式器件必須優(yōu)先于圓柱形器件。
由于缺乏無鉛元件,轉(zhuǎn)到使用無鉛元件是分階段進行的。在2004年,由于要求電子產(chǎn)品的體積越來越小,迫使制造商***地用0402元件來取代0603元件和0805元件。工藝條件除了普遍使用的0402元件,印刷電路板的***次合格率(FPY)必須達到95%,而且必須根據(jù)印刷電路協(xié)會(IPC)的2級標準來檢測缺陷。例如,在有608個焊點的168元件的情況下,相當于要求誤報率是百萬分之65。為了達到FPY的要求,在檢測缺陷時必須考慮以下條件:元件長度的公差、元件供應(yīng)商、貼片公差、在25 個AOI系統(tǒng)上的全球檢測數(shù)據(jù)庫、有80個獨特產(chǎn)品的全球檢測數(shù)據(jù)庫、無鉛焊料、不同的電路板供應(yīng)商以及檢測質(zhì)量要達到IPC的2級標準。夾緊裝置:實現(xiàn)檢測物品的精確定位.工業(yè)園區(qū)購買自動化缺陷檢測設(shè)備設(shè)備廠家
檢查是在元件貼放在板上錫膏內(nèi)之后和PCB送入回流爐之前完成的。姑蘇區(qū)國內(nèi)自動化缺陷檢測設(shè)備設(shè)備廠家
刷錫后貼片前:橋接-移位-無錫-錫不足貼片后回流焊前:移位,漏料、極性、歪斜、腳彎、錯件回流焊或波峰焊后:少錫/多錫、無錫短接 錫球 漏料-極性-移位腳彎錯件PCB行業(yè)裸板檢測(1)高速檢測系統(tǒng)與PCB板貼裝密度無關(guān)(2)快速便捷的編程系統(tǒng)圖形界面下進行運用帖裝數(shù)據(jù)自動進行數(shù)據(jù)檢測運用元件數(shù)據(jù)庫進行檢測數(shù)據(jù)的快速編輯(3)運用豐富的**多功能檢測算法和二元或灰度水平光學成像處理技術(shù)進行檢測(4)根據(jù)被檢測元件位置的瞬間變化進行檢測窗口的自動化校正,達到高精度檢測(5)通過用墨水直接標記于PCB板上或在操作顯示器上用圖形錯誤表示來進行檢測電的核對姑蘇區(qū)國內(nèi)自動化缺陷檢測設(shè)備設(shè)備廠家
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