PC機(jī)應(yīng)用程序在WIN2000操作系統(tǒng)上, 編寫了客戶服務(wù)端軟件。在VC+ + 6. 0編寫的應(yīng)用程序基本框架下,生成可視化儀器操作面板,實(shí)現(xiàn)了四通道波形的實(shí)時(shí)顯示,16通道波形間的任意切換,可**對(duì)任意通道實(shí)現(xiàn)增益校正、進(jìn)波門和失波門的設(shè)置、探頭參數(shù)測(cè)定、繪制DAC曲線、自動(dòng)生成探傷工作報(bào)告等工作。作為一種虛擬探傷系統(tǒng),在V C+ + 的平臺(tái)上構(gòu)建一個(gè)通用探傷的數(shù)據(jù)庫。用戶不但可以根據(jù)實(shí)際需求選擇相應(yīng)的探傷標(biāo)準(zhǔn)和探傷設(shè)備的技術(shù)指標(biāo),而且在T I Code Composer Studio 平臺(tái)和ALTERA MUX+plusII 10. 0平臺(tái)的支持下,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)嵌入式DSP子系統(tǒng)的硬件和軟件重構(gòu)。早期發(fā)現(xiàn)缺陷將避免將壞板送到隨后的裝配階段，AOI將減少修理成本將避免報(bào)廢不可修理的電路板。吳江區(qū)重型自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備按需定制

系統(tǒng)采用DSP系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)高速數(shù)據(jù)采集、自動(dòng)增益控制、實(shí)時(shí)門限報(bào)警、傳動(dòng)設(shè)備控制等問題; 采用標(biāo)準(zhǔn)的工控機(jī),是吸收了虛擬儀器的思想,以便實(shí)現(xiàn)多通道的智能化管理,以及波形顯示、數(shù)據(jù)分析、用戶可視化操作、探傷報(bào)告打印。主從機(jī)之間通過PC機(jī)并口和DSP主機(jī)接口實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)傳輸。 [2]模擬部分DAUTD的模擬部分包括超聲波收發(fā)電路、數(shù)控放大/衰減器、可控模擬濾波器陣列。超聲波收發(fā)電路采用600V、400V負(fù)脈沖激勵(lì); 增益控制電路由一級(jí)固定20dB 放大, 二級(jí)壓控放大器提供- 20～ + 60dB 的衰減和放大, 則整個(gè)系統(tǒng)增益設(shè)計(jì)為80dB, **小步進(jìn)0. 1dB; 可控濾波器設(shè)定為多種寬帶濾波模式, 如0～ 15M Hz、2～ 20M Hz 等, 比較高工作頻段為20M Hz。 [2吳江區(qū)重型自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備按需定制器件到PCB的邊緣應(yīng)該至少留有3mm（0.12”）的工 藝邊。

片式元件、MELF器件和C-leads 器件圖7在片式元件和MELF器件上，彎月狀的焊點(diǎn)必須被正 確地識(shí)別出來；而在器件本體兩側(cè)下方的焊點(diǎn)由于焊錫無 爬升，很難檢查。另外，焊盤邊緣到焊端的間距Xc也需要 注意。Xc （焊盤的外側(cè)間距）對(duì)Xi（焊盤的內(nèi)側(cè)間 距）的比率應(yīng)選擇＞1。同樣的規(guī)則也適用于C-leads器件的 彎月型和器件本體兩側(cè)的焊盤設(shè)計(jì)。這里，我們建議Xc對(duì) Xi的比率稍微大于1.5。值得注意的是：任何元器件的長度 變化也必須計(jì)算在內(nèi)?！苞t翼”型引腳器件圖6通常，這類器件的判定標(biāo)準(zhǔn)可以通過對(duì)毛細(xì)效應(yīng)在垂 直方向的作用的分析中找到。由于毛細(xì)力，焊錫從焊盤末端 爬到引腳上形成焊點(diǎn)。

缺陷類型：微粒缺陷（如異物污染）圖形缺陷（如光刻圖案偏移） [1-3]2.檢測(cè)精度：可實(shí)現(xiàn)0.2微米級(jí)缺陷的識(shí)別，滿足45納米工藝節(jié)點(diǎn)的質(zhì)量控制需求 [1-3]。吞吐量：每小時(shí)處理20片300毫米晶圓（基于2021年技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)） [1] [3]適用工藝：45納米及更高制程的集成電路制造 [1-3]主要用于半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的在線缺陷檢測(cè)，覆蓋晶圓前道制程中的關(guān)鍵工藝步驟，確保芯片良率與可靠性 [1-3]。上海集成電路研發(fā)中心有限公司自2011年起使用KLA-Tencor Puma9150型號(hào)設(shè)備（截至2020年），同期配備頻譜分析儀、晶邊缺陷檢查設(shè)備等科研儀器 [2-3]?；亓骱负髾z查提供高度的安全性，因?yàn)樗R(shí)別由錫膏印刷、元件貼裝和回流過程引起的錯(cuò)誤。

印刷圖案圖3所有印有圖案的PCB也是能夠被檢查的，例如，當(dāng)元 器件的邊框或元器件本體上的字母單獨(dú)出現(xiàn)在組件的某個(gè) 區(qū)域從而干擾對(duì)其他部分的檢查時(shí)，可以手工調(diào)整檢查程 序。盡管如此，在生產(chǎn)允許的范圍內(nèi)，圖案的印刷范圍仍 然有一個(gè)較大的選擇，因此，減少非反射性標(biāo)識(shí)印刷（黑 或暗黃）值得加以考慮。另外一個(gè)可能出現(xiàn)的情況是需要 有選擇地印刷標(biāo)識(shí)：例如，當(dāng)某些特定的器件（如霍爾傳 感器）正面向下時(shí)就必須印刷成白色；而另一種情況是印 有極性標(biāo)志的有傾斜角的鉭電容器件；這樣能使標(biāo)識(shí)和背 景形成鮮明的對(duì)比，使得檢查的圖像更加清晰。AOI通常放置在生產(chǎn)線末端。在這個(gè)位置，設(shè)備可以產(chǎn)生范圍過程控制信息。常熟重型自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備銷售價(jià)格

決定哪里放置AOI需要認(rèn)識(shí)到元件丟失可能是其它原因下發(fā)生的，這些原因必須放在檢查計(jì)劃內(nèi)。吳江區(qū)重型自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備按需定制

暗場(chǎng)缺陷檢查設(shè)備是一種**于45納米及以上工藝半導(dǎo)體制造缺陷檢測(cè)的分析儀器。該設(shè)備通過低角度散射信號(hào)收集技術(shù)抑制前層噪音，顯著提高信噪比，同時(shí)具備檢測(cè)0.2微米級(jí)微粒缺陷與圖形缺陷的雙重能力 [1-3]。在滿足基本檢測(cè)靈敏度的條件下，其吞吐量可達(dá)每小時(shí)20片晶圓 [1-2]。主要應(yīng)用于集成電路研發(fā)領(lǐng)域，典型用戶包括上海集成電路研發(fā)中心有限公司采用低角度散射信號(hào)收集技術(shù)，通過優(yōu)化光學(xué)路徑抑制晶圓前層結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的背景噪音，提升檢測(cè)信號(hào)與背景噪音的比例 [1-2]。吳江區(qū)重型自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備按需定制

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