缺陷類型:微粒缺陷(如異物污染)圖形缺陷(如光刻圖案偏移) [1-3]2.檢測精度:可實現(xiàn)0.2微米級缺陷的識別,滿足45納米工藝節(jié)點的質(zhì)量控制需求 [1-3]。吞吐量:每小時處理20片300毫米晶圓(基于2021年技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)) [1] [3]適用工藝:45納米及更高制程的集成電路制造 [1-3]主要用于半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的在線缺陷檢測,覆蓋晶圓前道制程中的關(guān)鍵工藝步驟,確保芯片良率與可靠性 [1-3]。上海集成電路研發(fā)中心有限公司自2011年起使用KLA-Tencor Puma9150型號設(shè)備(截至2020年),同期配備頻譜分析儀、晶邊缺陷檢查設(shè)備等科研儀器 [2-3]。AOI通常放置在生產(chǎn)線末端。在這個位置,設(shè)備可以產(chǎn)生范圍過程控制信息。工業(yè)園區(qū)重型自動化缺陷檢測設(shè)備銷售電話
系統(tǒng)采用DSP系統(tǒng)可以實現(xiàn)高速數(shù)據(jù)采集、自動增益控制、實時門限報警、傳動設(shè)備控制等問題; 采用標(biāo)準(zhǔn)的工控機,是吸收了虛擬儀器的思想,以便實現(xiàn)多通道的智能化管理,以及波形顯示、數(shù)據(jù)分析、用戶可視化操作、探傷報告打印。主從機之間通過PC機并口和DSP主機接口實現(xiàn)數(shù)據(jù)傳輸。 [2]模擬部分DAUTD的模擬部分包括超聲波收發(fā)電路、數(shù)控放大/衰減器、可控模擬濾波器陣列。超聲波收發(fā)電路采用600V、400V負(fù)脈沖激勵; 增益控制電路由一級固定20dB 放大, 二級壓控放大器提供- 20~ + 60dB 的衰減和放大, 則整個系統(tǒng)增益設(shè)計為80dB, **小步進0. 1dB; 可控濾波器設(shè)定為多種寬帶濾波模式, 如0~ 15M Hz、2~ 20M Hz 等, 比較高工作頻段為20M Hz。 [2工業(yè)園區(qū)附近自動化缺陷檢測設(shè)備按需定制AOI的中文全稱是自動光學(xué)檢測,是基于光學(xué)原理來對焊接生產(chǎn)中遇到的常見缺陷進行檢測的設(shè)備。
晶片缺陷檢測儀是一款基于光學(xué)和機械技術(shù)的精密分析儀器,主要用于晶圓制造過程中表面顆粒、劃痕、凹坑和微管缺陷的分析檢測 [1]。該設(shè)備采用405nm光學(xué)系統(tǒng)與多頻道探測器組合技術(shù),可檢測顆粒、劃痕、凹坑及微管等缺陷類型,并配備2至6英寸夾具適配不同規(guī)格晶片。其自動化功能包含機械手臂傳輸和自動對焦系統(tǒng),提升了檢測效率和精度。截至2021年1月,該設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)包括 [1]:1.采用405nm波長的光學(xué)系統(tǒng),提升表面微小缺陷的識別能力;
片式元件、MELF器件和C-leads 器件圖7在片式元件和MELF器件上,彎月狀的焊點必須被正 確地識別出來;而在器件本體兩側(cè)下方的焊點由于焊錫無 爬升,很難檢查。另外,焊盤邊緣到焊端的間距Xc也需要 注意。Xc (焊盤的外側(cè)間距)對Xi(焊盤的內(nèi)側(cè)間 距)的比率應(yīng)選擇>1。同樣的規(guī)則也適用于C-leads器件的 彎月型和器件本體兩側(cè)的焊盤設(shè)計。這里,我們建議Xc對 Xi的比率稍微大于1.5。值得注意的是:任何元器件的長度 變化也必須計算在內(nèi)。“鷗翼”型引腳器件圖6通常,這類器件的判定標(biāo)準(zhǔn)可以通過對毛細(xì)效應(yīng)在垂 直方向的作用的分析中找到。由于毛細(xì)力,焊錫從焊盤末端 爬到引腳上形成焊點。這個階段的定量過程控制數(shù)據(jù)包括,印刷偏移和焊錫量信息,而有關(guān)印刷焊錫的定性信息也會產(chǎn)生。
在DSP上運行嵌入式實時操作系統(tǒng)DSP /BIOSⅡ 來解決自動化探傷中的高速中斷響應(yīng)、多任務(wù)調(diào)度、外設(shè)控制、門限報警等問題; 在主機上采用WIN2000操作系統(tǒng)和基于V C+ + 應(yīng)用程序,完成4通道波形實時顯示, 16通道波形任意切換、用戶指令操作等任務(wù)。DSP嵌入式實時操作系統(tǒng)作為一個可配置的操作系統(tǒng)內(nèi)核服務(wù)例程的**, DSP /BIOSⅡ 提供了基于搶占式優(yōu)先級的多線程任務(wù)管理,跨平臺的實時內(nèi)核分析和硬件資源的靜態(tài)配置。嵌入式DSP子系統(tǒng)軟件包括兩個模塊: 應(yīng)用程序和系統(tǒng)程序。系統(tǒng)程序執(zhí)行對基本硬件初始化、系統(tǒng)資源的配置、外設(shè)訪問控制、硬件中斷服務(wù)例程、進程間的實時調(diào)度; 應(yīng)用軟件實現(xiàn)用戶的功能要求。多光譜攝像頭:搭載可調(diào)式光學(xué)鏡頭組.相城區(qū)附近自動化缺陷檢測設(shè)備設(shè)備廠家
刷錫后貼片前:橋接-移位-無錫-錫不足.工業(yè)園區(qū)重型自動化缺陷檢測設(shè)備銷售電話
基本優(yōu)化每塊PCB可以采用光學(xué)或者X-ray技術(shù)并運用適當(dāng) 的運算法則來進行檢查?;趫D像檢查的基本 原理是:每個具有明顯對比度的圖像都是可以 被檢查的。在AOI中存在的主要問題是,當(dāng)一些檢查對象是 不可見的,或是在PCB上存在一些干擾使得圖像變得模糊 或隱藏起來了。然而,實際經(jīng)驗和系統(tǒng)化測試都表明,這 些影響是可以通過PCB的設(shè)計來預(yù)防甚至減少的。為了推 動這種優(yōu)化設(shè)計,可以運用一些看上去很古老的附加手段(這些方法仍在很多領(lǐng)域被推崇),它的優(yōu)點包括:工業(yè)園區(qū)重型自動化缺陷檢測設(shè)備銷售電話
蘇州邁斯納科技有限公司是一家有著先進的發(fā)展理念,先進的管理經(jīng)驗,在發(fā)展過程中不斷完善自己,要求自己,不斷創(chuàng)新,時刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司,在江蘇省等地區(qū)的機械及行業(yè)設(shè)備中匯聚了大量的人脈以及**,在業(yè)界也收獲了很多良好的評價,這些都源自于自身的努力和大家共同進步的結(jié)果,這些評價對我們而言是比較好的前進動力,也促使我們在以后的道路上保持奮發(fā)圖強、一往無前的進取創(chuàng)新精神,努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個新高度,在全體員工共同努力之下,全力拼搏將共同邁斯納供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來,創(chuàng)造更有價值的產(chǎn)品,我們將以更好的狀態(tài),更認(rèn)真的態(tài)度,更飽滿的精力去創(chuàng)造,去拼搏,去努力,讓我們一起更好更快的成長!