光學(xué)薄膜指通過物理化學(xué)方法在光學(xué)器件表面沉積的膜系,利用光的干涉效應(yīng)改變光學(xué)特性,實現(xiàn)增透、反射、分光等功能。其應(yīng)用始于20世紀(jì)30年代,現(xiàn)***用于光學(xué)及光電子領(lǐng)域。按功能可分為增透膜、高反膜、濾光膜等類型,材料分為金屬膜(如鋁、銀、金)和非金屬膜兩類,金屬膜常用于反射鏡,非金屬膜因穩(wěn)定性高而應(yīng)用更廣。光學(xué)薄膜通過控制膜層折射率與厚度實現(xiàn)光波干涉,單層膜可減少反射光,多層組合可擴(kuò)展低反射率波帶。1961年,三層抗反射膜技術(shù)的提出***提升了寬波帶性能。制造技術(shù)包括熱電阻蒸鍍、電子束蒸發(fā)和濺射法,其中濺射法附著力比較好。隨著光電產(chǎn)業(yè)發(fā)展,光學(xué)薄膜在通訊、顯示、存儲等領(lǐng)域成為關(guān)鍵組件,如投影設(shè)備、光通訊濾波片等,其技術(shù)進(jìn)步直接影響現(xiàn)代光學(xué)儀器的性能演進(jìn)。如果所考慮的光譜區(qū)很寬或通帶透過率的波紋要求很高,膜系結(jié)構(gòu)會更加復(fù)雜。啟東智能光學(xué)膜均價

在許多復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)里,反射光的抑制是十分重要的功課。因此一組鏡片之間,會利用不同的鍍膜厚度來消去不同頻率的反射光。所以越高級的光學(xué)系統(tǒng),發(fā)現(xiàn)反射光的顏色也會越多。常見的光學(xué)鍍膜材料有以下幾種:1、氟化鎂材料特點:無色四方晶系粉末,純度高,用其制備光學(xué)鍍膜可提高透過率,不出崩點。2、二氧化硅材料特點:無色透明晶體,熔點高,硬度大,化學(xué)穩(wěn)定性好。純度高,用其制備高質(zhì)量Si02鍍膜,蒸發(fā)狀態(tài)好,不出現(xiàn)崩點。按使用要求分為紫外、紅外及可見光用。海安質(zhì)量光學(xué)膜批量定制由薄的分層介質(zhì)構(gòu)成的,通過界面?zhèn)鞑ス馐囊活惞鈱W(xué)介質(zhì)材料。

濾光膜由分層介質(zhì)構(gòu)成,其工作原理基于光波在介電質(zhì)或金屬膜層界面處的反射、透射特性調(diào)整。通過鍍膜或涂布工藝在基板上形成特定膜層組合,實現(xiàn)對不同波長光的篩選或衰減,達(dá)到光譜分割、強(qiáng)度調(diào)控等目的 [2]。濾光膜通常依據(jù)以下方式分類:1.光譜波段:包括紫外濾光膜、可見光濾光膜及紅外濾光膜 [1],對應(yīng)不同電磁波范圍。2.光譜特性:帶通濾光膜*允許特定波段光穿透,截止濾光膜分為短波通(透短波濾長波)與長波通(透長波濾短波) [1],分光型則實現(xiàn)光譜能量比例分割。3.膜層材料:硬膜濾光膜具備高激光損傷閾值,適用于激光系統(tǒng);軟膜濾光膜多用于生化分析儀等非**度環(huán)境 [1]。
填充密度定義為薄膜固體部分的體積與薄膜的總體積(包括空隙和微孔)之比。對于光學(xué)薄膜,填充密度通常為0.75~**部分為0.85~0.95,很少達(dá)到1.0。小于l的填充密度使所蒸發(fā)材料的折射率低于其塊料的折射率。在沉積過程中,每一層的厚度均由光學(xué)或石英晶體監(jiān)控。這兩種技術(shù)各有優(yōu)缺點,這里不作討論。其共同點是材料蒸發(fā)時它們均在真空中使用,因而,折射率是蒸發(fā)材料在真空中的折射率,而不是暴露于潮濕空氣中的材料折射率。薄膜吸收的潮氣取代微孔和空隙,造成薄膜的折射率升高。由于薄膜的物理厚度保持不變,這種折射率升高伴有相應(yīng)的光學(xué)厚度的增加,反過來造成薄膜光譜特性向長波方向的漂移。為了減小由膜層內(nèi)微孔的體積和數(shù)量所引起的這種光譜漂移,采用高能離子以將其動量傳遞給正在蒸發(fā)的材料原子,從而**增加材料原子在基底表面處凝結(jié)期間的遷移率。 [3]人們總是選擇消光系數(shù)較大,光學(xué)性質(zhì)較穩(wěn)定的那些金屬作為金屬膜材料。

誘增透濾光片是在金屬膜兩邊匹配以適當(dāng)?shù)碾娊橘|(zhì)膜系,以增加勢透過率,減少反射,使通帶透過率增加的一類濾光片。雖然它的通帶性能不如全電介質(zhì)法-珀濾光片,卻有著很寬的截止特性,所以還是有很大的應(yīng)用價值。特別在紫外區(qū),一般電介質(zhì)材料吸收都比較大的情況下,它的優(yōu)越性就更明顯了。圖3的a、b、c分別給出法布里-珀羅型濾光片、多腔濾光片和誘增透濾光片的典型曲線。分光膜根據(jù)一定的要求和一定的方式把光束分成兩部分的薄膜。分光膜主要包括波長分光膜、光強(qiáng)分光膜和偏振分光膜等幾類。薄膜的生長、薄膜的結(jié)構(gòu)以及它們對薄膜性質(zhì)的影響;海安國內(nèi)光學(xué)膜廠家直銷
由于鋁、銀、銅等材料在空氣中很容易氧化而降低性能,所以必須用電介質(zhì)膜加以保護(hù)。啟東智能光學(xué)膜均價
波長分光膜又叫雙色分光膜,顧名思義它是按波長區(qū)域把光束分成兩部分的薄膜。這種膜可以是一種截止濾光片或帶通濾光片,所不同的是,波長分光膜不僅要考慮透過光而且要考慮反射光,二者都要求有一定形狀的光譜曲線。波長分光膜通常在一定入射角下使用,在這種情況下,由于偏振的影響,光譜曲線會發(fā)生畸變,為了克服這種影響,必須考慮薄膜的消偏振問題。光學(xué)薄膜光強(qiáng)分光膜是按照一定的光強(qiáng)比把光束分成兩部分的薄膜,這種薄膜有時*考慮某一波長,叫做單色分光膜;有時需要考慮一個光譜區(qū)域叫做寬帶分光膜;用于可見光的寬帶分光膜,又叫做中性分光膜。這種膜也常在斜入射下應(yīng)用,由于偏振的影響,二束光的偏振狀態(tài)可以相差很多,在有些工作中,可以不考慮這種差別,但在另一些工作中(例如某些干涉儀),則要求兩束光都是消偏振的,這就需要設(shè)計和制備消偏振膜。啟東智能光學(xué)膜均價
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