特殊工藝芯片的流片需要匹配專業(yè)的晶圓廠資源，中清航科憑借多年積累，構(gòu)建起覆蓋特殊工藝的流片代理網(wǎng)絡(luò)。在MEMS芯片領(lǐng)域，與全球MEMS晶圓廠合作，可提供從晶圓鍵合、深硅刻蝕到釋放工藝的全流程流片服務(wù)，支持壓力傳感器、微鏡、射頻MEMS等產(chǎn)品，流片后的器件性能參數(shù)偏差控制在5%以內(nèi)。針對(duì)化合物半導(dǎo)體，如GaN、SiC等，中清航科的技術(shù)團(tuán)隊(duì)熟悉材料特性與工藝要求，能為客戶提供襯底選擇、外延生長(zhǎng)參數(shù)優(yōu)化等專業(yè)建議，已成功代理新能源汽車用SiC功率器件的流片項(xiàng)目，幫助客戶將器件的導(dǎo)通電阻降低15%。在光電子芯片領(lǐng)域，與專業(yè)光電器件晶圓廠合作，支持VCSEL、DFB激光器等產(chǎn)品的流片，波長(zhǎng)一致性控制在±1nm以內(nèi)。中清航科代持晶圓廠賬戶，規(guī)避敏感技術(shù)泄露風(fēng)險(xiǎn)。上海TSMC 65nm流片代理

流片過(guò)程中的質(zhì)量管控是中清航科的主要優(yōu)勢(shì)之一，其建立了覆蓋設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、測(cè)試的全流程質(zhì)量管理體系。在設(shè)計(jì)階段，引入第三方DFM工具進(jìn)行單獨(dú)審核，確保設(shè)計(jì)方案符合晶圓廠工藝要求；生產(chǎn)階段，派駐駐廠工程師實(shí)時(shí)監(jiān)督關(guān)鍵工藝，每2小時(shí)記錄一次工藝參數(shù)，形成完整的參數(shù)追溯檔案；測(cè)試階段，除晶圓廠常規(guī)測(cè)試外，中清航科額外增加一層測(cè)試驗(yàn)證，包括CP測(cè)試、EL測(cè)試等，確保不良品不流入下道工序。為保障質(zhì)量數(shù)據(jù)的可靠性，采用區(qū)塊鏈技術(shù)存儲(chǔ)關(guān)鍵質(zhì)量數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)不可篡改與全程可追溯。通過(guò)這套質(zhì)量管理體系，中清航科代理的流片項(xiàng)目一次通過(guò)率達(dá)到97%，較行業(yè)平均水平高出12個(gè)百分點(diǎn)，客戶的質(zhì)量投訴率控制在0.3%以下。上海臺(tái)積電 28nm流片代理光罩版圖合規(guī)檢查中清航科系統(tǒng)，7天完成全芯片驗(yàn)證。

全球晶圓產(chǎn)能緊張的背景下，其流片周期的穩(wěn)定性至關(guān)重要。中清航科建立了多晶圓廠備份機(jī)制，為每個(gè)工藝節(jié)點(diǎn)匹配2-3家備選晶圓廠，當(dāng)主供廠商出現(xiàn)產(chǎn)能波動(dòng)時(shí)，可在48小時(shí)內(nèi)啟動(dòng)切換流程，確保流片計(jì)劃不受影響。去年某車規(guī)芯片客戶遭遇主晶圓廠火災(zāi)事故，中清航科只用3天就完成產(chǎn)能轉(zhuǎn)移，將交付延期控制在1周內(nèi)，較大限度降低客戶損失。流片后的測(cè)試與分析是驗(yàn)證設(shè)計(jì)有效性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，中清航科配備了完整的芯片測(cè)試實(shí)驗(yàn)室，擁有ATE測(cè)試系統(tǒng)、探針臺(tái)等先進(jìn)設(shè)備，可提供CP（晶圓級(jí)測(cè)試）與FT（成品測(cè)試）服務(wù)。測(cè)試數(shù)據(jù)通過(guò)自主開發(fā)的分析平臺(tái)進(jìn)行失效模式分類，生成詳細(xì)的良率分析報(bào)告，幫助客戶精確定位設(shè)計(jì)缺陷。其與第三方失效分析實(shí)驗(yàn)室的合作網(wǎng)絡(luò)，還可提供切片分析、SEM成像等深度分析服務(wù)。

流片過(guò)程中的測(cè)試方案設(shè)計(jì)直接影響產(chǎn)品質(zhì)量驗(yàn)證效果，中清航科的測(cè)試工程團(tuán)隊(duì)具備豐富經(jīng)驗(yàn)。根據(jù)芯片應(yīng)用場(chǎng)景，定制化設(shè)計(jì)測(cè)試向量與測(cè)試流程，覆蓋功能測(cè)試、性能測(cè)試、可靠性測(cè)試等全維度。針對(duì)高頻芯片，引入微波探針臺(tái)與矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，實(shí)現(xiàn)110GHz以內(nèi)的高頻參數(shù)精確測(cè)量；對(duì)于低功耗芯片，則配備高精度功耗測(cè)試儀，電流測(cè)量分辨率達(dá)1pA。通過(guò)優(yōu)化測(cè)試方案，使測(cè)試覆蓋率提升至99.8%，潛在缺陷漏檢率控制在0.02%以下。為幫助客戶應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的人才短缺問(wèn)題，中清航科推出流片技術(shù)賦能計(jì)劃。定期組織流片工藝培訓(xùn)課程，內(nèi)容涵蓋晶圓制造流程、工藝參數(shù)影響、良率提升方法等，采用理論授課與實(shí)操演練相結(jié)合的方式，培訓(xùn)教材由前晶圓廠編寫，具有極強(qiáng)的實(shí)用性。培訓(xùn)結(jié)束后頒發(fā)認(rèn)證證書，學(xué)員可優(yōu)先獲得中清航科的技術(shù)支持資源。去年累計(jì)舉辦30期培訓(xùn)班，為行業(yè)培養(yǎng)了500余名流片技術(shù)人才，學(xué)員所在企業(yè)的流片效率平均提升20%。選擇中清航科流片，贈(zèng)送晶圓探針測(cè)試500點(diǎn)。

流片代理服務(wù)的國(guó)際化人才團(tuán)隊(duì)是中清航科的重要支撐，其員工中60%具有海外留學(xué)或工作經(jīng)歷，能熟練使用英語(yǔ)、日語(yǔ)、韓語(yǔ)等多種語(yǔ)言，為國(guó)際客戶提供無(wú)障礙服務(wù)。團(tuán)隊(duì)成員熟悉不同國(guó)家的商業(yè)文化與溝通習(xí)慣，能根據(jù)客戶的文化背景調(diào)整溝通方式與服務(wù)策略，例如與日本客戶合作時(shí)注重細(xì)節(jié)與流程規(guī)范，與美國(guó)客戶合作時(shí)強(qiáng)調(diào)效率與創(chuàng)新。這種國(guó)際化服務(wù)能力使中清航科的海外客戶占比逐年提升，目前已達(dá)到總客戶數(shù)的35%。針對(duì)毫米波芯片的流片需求，中清航科開發(fā)了專項(xiàng)流片方案。其與具備毫米波工藝能力的晶圓廠合作，熟悉0.13μmGaAs、0.1μmGaN等工藝節(jié)點(diǎn)，能為客戶提供毫米波天線設(shè)計(jì)、功率放大器工藝參數(shù)優(yōu)化等服務(wù)。通過(guò)引入毫米波近場(chǎng)掃描系統(tǒng)，對(duì)流片后的芯片進(jìn)行三維輻射方向圖測(cè)試，測(cè)試頻率覆蓋30GHz-300GHz，測(cè)試精度達(dá)到行業(yè)水平。已成功代理多個(gè)毫米波雷達(dá)芯片的流片項(xiàng)目，產(chǎn)品的探測(cè)距離與分辨率均達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。中清航科提供3D堆疊流片方案，內(nèi)存帶寬提升8倍。衢州XMC 55nmSOI流片代理

中清航科失效晶圓復(fù)投計(jì)劃，客戶承擔(dān)成本減少35%。上海TSMC 65nm流片代理

先進(jìn)制程流片面臨技術(shù)門檻高、產(chǎn)能緊張等問(wèn)題，中清航科憑借與先進(jìn)晶圓廠的深度合作，構(gòu)建起獨(dú)特的先進(jìn)制程流片代理能力。針對(duì)7nm及以下工藝，組建由前晶圓廠工程師組成的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，能為客戶提供從設(shè)計(jì)規(guī)則解讀、DFM分析到工藝參數(shù)優(yōu)化的全流程支持。在EUV光刻環(huán)節(jié)，中清航科的技術(shù)人員可協(xié)助客戶優(yōu)化光刻膠選擇與曝光參數(shù)，使EUV層的良率提升10%以上。為應(yīng)對(duì)先進(jìn)制程流片的高成本問(wèn)題，推出階梯式付款方案，將流片費(fèi)用分為設(shè)計(jì)審核、掩膜制作、晶圓生產(chǎn)、測(cè)試等階段支付，緩解客戶的資金壓力。目前已代理50余款先進(jìn)制程芯片流片項(xiàng)目，涉及AI芯片、高性能處理器等領(lǐng)域，幫助客戶縮短先進(jìn)制程產(chǎn)品的上市周期。上海TSMC 65nm流片代理