工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的管道內若存在 0.1 微米顆粒，會隨氣體進入精密設備，造成磨損和故障。例如在液壓系統(tǒng)中，顆粒會劃傷油缸內壁，導致漏油；在精密軸承裝配中，顆粒會嵌入軸承滾道，縮短使用壽命。0.1 微米顆粒度檢測需用顆粒計數(shù)器，在過濾器下游采樣，采樣體積≥100L，每毫升油液（或氣體）中顆粒數(shù)（0.1μm 及以上）需≤1000 個。工業(yè)集中供氣系統(tǒng)需安裝多級過濾器（如前置過濾器、精密過濾器），濾芯精度需達 0.1μm，而顆粒度檢測能驗證過濾器性能 —— 若檢測值超標，可能是濾芯破損或安裝密封不良。通過顆粒度檢測，可確保氣體潔凈度，減少設備故障，提高生產(chǎn)效率。電子特氣系統(tǒng)工程保壓測試后，需測氧含量和水分，確保特氣不受污染。清遠大宗供氣系統(tǒng)氣體管道五項檢測保壓測試

高純氣體系統(tǒng)工程的管道若存在泄漏，會導致氣體純度下降，影響生產(chǎn)，保壓測試是驗證其密封性的關鍵。測試時，管道需先經(jīng)超凈氮氣吹掃（水分含量≤-70℃），再充入高純氮氣至設計壓力（0.8MPa），關閉閥門后監(jiān)測 48 小時，壓力降需≤0.1% 初始壓力。高純氣體管道多為小口徑（≤50mm）電解拋光管，焊接采用全自動軌道焊，若焊接參數(shù)不當（如電流過大），會導致焊縫氧化或產(chǎn)生氣孔，引發(fā)泄漏。保壓測試能發(fā)現(xiàn)這些隱蔽缺陷，例如某半導體廠的高純氬氣管道，因焊縫微漏導致氬氣純度從 99.9999% 降至 99.999%，影響晶圓刻蝕精度。通過保壓測試，可確保管道無泄漏，為氣體純度提供基礎保障，這是高純氣體系統(tǒng)工程驗收的必備項。茂名電子特氣系統(tǒng)工程氣體管道五項檢測氧含量（ppb級）高純氣體管道的保壓測試需充氮氣至設計壓力，24 小時壓力降≤1%，確保無宏觀泄漏影響氣體輸送。

高純氣體系統(tǒng)工程中，顆粒是浮游菌的載體，因此需聯(lián)動檢測。例如 0.1 微米以上的顆?？晌郊毦S氣體進入生產(chǎn)環(huán)境，導致產(chǎn)品污染。檢測時，顆粒度合格（0.1μm 及以上顆?！?000 個 /m3）后，測浮游菌（≤1CFU/m3）；若顆粒度超標，需先凈化再測浮游菌。高純氣體系統(tǒng)需安裝 “高效過濾 + 除菌過濾” 組合裝置，且過濾器需定期完整性測試，而關聯(lián)檢測能驗證過濾效果 —— 若顆粒度合格但浮游菌超標，可能是除菌過濾器失效。這種方法能多方面保障氣體潔凈度，符合生物制藥、微電子等行業(yè)的嚴苛要求。

電子特氣系統(tǒng)工程輸送的氣體（如四氟化碳、氨氣）直接用于半導體晶圓刻蝕、摻雜工藝，管道內的 0.1 微米顆粒污染物會導致晶圓缺陷，降低良率。例如 0.1 微米顆粒附著在晶圓表面，會造成光刻膠圖形變形，或導致電路短路。0.1 微米顆粒度檢測需用凝聚核粒子計數(shù)器（CNC），在管道出口處采樣，采樣流量 1L/min，連續(xù)監(jiān)測 30 分鐘，每立方米顆粒數(shù)需≤1000 個（0.1μm 及以上）。電子特氣管道需采用 316L 不銹鋼電解拋光管，內壁粗糙度≤0.1μm，焊接時用全自動軌道焊，避免焊渣產(chǎn)生；安裝后需用超凈氮氣吹掃 24 小時，去除殘留顆粒。通過嚴格的顆粒度檢測，可確保特氣潔凈度達標，這是電子特氣系統(tǒng)工程的重要質量要求。電子特氣系統(tǒng)工程的氦檢漏需達 1×10?1?Pa?m3/s，防止劇毒氣體泄漏危及半導體生產(chǎn)安全。

大宗供氣系統(tǒng)中的氣體（如壓縮空氣、氮氣）若含水分，會導致管道腐蝕、設備故障。例如在氣動控制系統(tǒng)中，水分會使氣缸內壁銹蝕，縮短使用壽命；在食品包裝中，氮氣中的水分會導致包裝內結露，影響食品保質期。ppb 級水分檢測需用露點儀，在管道出口處檢測，溫度需≤-40℃（對應水分≤1070ppb），根據(jù)行業(yè)不同可提高標準（如電子行業(yè)需≤-60℃）。大宗供氣系統(tǒng)需安裝干燥機（如吸附式干燥機），出口溫度需穩(wěn)定，而水分檢測能驗證干燥機性能 —— 若檢測值超標，可能是干燥劑失效或再生系統(tǒng)故障。通過嚴格的水分檢測，可確保氣體干燥度，減少設備維護成本，延長系統(tǒng)壽命。尾氣處理系統(tǒng)保壓測試前需置換空氣，防止可燃尾氣與空氣混合引發(fā)危險。深圳高純氣體系統(tǒng)工程氣體管道五項檢測氧含量（ppb級）

工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的氦檢漏，泄漏率≤1×10??Pa?m3/s，保障氣體輸送效率。清遠大宗供氣系統(tǒng)氣體管道五項檢測保壓測試

尾氣處理系統(tǒng)的管道輸送的多為有毒氣體（如氯氣、硫化氫），泄漏會導致環(huán)境污染與人員中毒，氦檢漏是保障其密封性的關鍵手段。檢測時，將尾氣管道抽真空至≤10Pa，在管道內側充入氦氣（壓力 0.1MPa），外側用氦質譜儀掃描，泄漏率需≤1×10??Pa?m3/s。尾氣處理系統(tǒng)的管道多為 FRP（玻璃鋼）或 PVC 材質，接頭處若粘結不牢，易出現(xiàn)微漏；長期使用后，腐蝕會導致管壁變薄，也可能產(chǎn)生泄漏。例如在制藥廠的有機廢氣處理系統(tǒng)中，若甲苯尾氣泄漏，會造成 VOCs 超標排放，面臨環(huán)保處罰。氦檢漏能準確發(fā)現(xiàn)這些隱患，確保尾氣 100% 進入處理裝置，符合環(huán)保排放標準。清遠大宗供氣系統(tǒng)氣體管道五項檢測保壓測試